| 产品特性：超高纯 | 品牌：SAWAGELOK世伟洛克 | 型号：6LVV-MSM-ALD3ET-2-P-CSV |
| 加工定制：否 | 产品别名：ALD3E系列原子沉积阀 | 适用范围：半导体制造 |
| 标准：美标 | 压力范围：真空至145psig(10bar) | 材质：不锈钢 |
| 规格：ALD | 产品规格：模块化 |
6LVV-MSM-ALD3ET-2-P-CSV
316L VIM-VAR 不锈钢 世伟洛克 ALD3E系列 原子沉积阀，模块化平台组件，2 孔口，底部尺寸：1.125 in.，SC-01清洁，耐热常闭执行器，24V 电磁导阀，24 V 电子位置传感器
| 阀体材料： 316L VIM-VAR | |
| 接头: 模块化平台组件 | 接口： 2 孔口 |
| 清洁工艺： 标准工艺（SC-11） | CV值： 0.27 |
| 阀杆头材料： PCTFE | 阀杆类型： 隔膜 |
| 温度°F (°C)： -10 (-23)至150 (65) | 电磁阀功率: 4W |
| 执行机构： 电磁气动 | 电子位置传感器： 24V |
| 流动型式： （2通道） | 特点： 耐热常闭执行器 |
| 阀体密封： 阀帽密封 | 系列： 隔膜密封阀DP系列 |
