产品特性:超高纯 | 品牌:SAWAGELOK世伟洛克 | 型号:6LVV-A61VD2DP-ASAS-NV |
加工定制:否 | 产品别名:ALD原子沉积阀 | 适用范围:半导体制造 |
标准:美标 | 类型:二通式 | 压力范围:真空至145psig(10bar) |
连接形式:内螺纹 | 材质:不锈钢 | 规格:ALD |
产品规格:1/4 in. |
6LVV-A61VD2DP-ASAS-NV 世伟洛克316L VIM-VAR ALD2阀3孔口阀组,1/4 in. 内 HVCR x 内 VCR x 内 HVCR, SC-01, NC 执行器,位置传感器
阀体材料: 316L VIM-VAR | |
接头1: 1/4 in.HVCR 内螺纹 | 接口2: 1/4 in.VCR 内螺纹 接口3: 1/4 in.HVCR 内螺纹 |
清洁工艺: 特殊工艺(SC-01) | CV值: 0.62 |
O型圈材料: FKM | 阀杆类型: 隔膜 |
温度°F (°C): 0 (32)至200 (392) | 执行器状态: NC常闭 |
执行机构: 电磁气动 | 电子位置传感器: 24V |
流动型式: (2通道) | 特点: 2阀3孔口阀组 |
阀体密封: 阀帽密封 | 系列: 隔膜密封阀ALD 1V系列 |