| 产品特性：超高纯 | 品牌：SAWAGELOK世伟洛克 | 型号：6LVV-ALD3TFR4-P-CS |
| 加工定制：否 | 产品别名：ALD原子沉积阀 | 适用范围：半导体制造 |
| 标准：美标 | 类型：二通式 | 压力范围：真空至145psig(10bar) |
| 连接形式：内螺纹 | 材质：不锈钢 | 规格：ALD |
| 产品规格：1/4 in. |
6LVV-ALD3TFR4-P-CS 世伟洛克316L VIM-VAR不锈钢 ALD原子沉积阀 SC-01，耐热常闭执行器
| 阀体材料： 316L VIM-VAR | |
| 接头: 1/4 in.VCR 内螺纹 | 接口： 1/4 in.VCR 内螺纹 |
| 清洁工艺： 特殊工艺(SC-01) | CV值： 0.27 |
| 阀杆头材料： PCTFE | 阀杆类型： 隔膜 |
| 温度°F (°C)： 0 (32)至200 (392) | 执行器状态: 常闭 |
| 执行机构： 电磁气动 | 电子位置传感器： 24V |
| 流动型式： （2通道） | 特点： 耐热常闭执行器 |
| 阀体密封： 阀帽密封 | 系列： 隔膜密封阀ALD系列 |
